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美國,KRI,射頻離子源,RFICP,100

發布時間:2021-06-26
瀏覽:178
公司基本資料信息
單價:面議
供貨總量:未填寫
所在地:廣東 深圳市
起訂量:未填寫
發貨期限:自買家付款之日起 3 天內發貨
有效期至:長期有效
詢價
產品詳細說明
    產品描述

 

上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 100, 離子束可選聚焦, 平行, 散射.

KRI 射頻離子源屬于大面積射頻離子源 (柵網離子源), 離子束流: >350 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 流量(Typical flow):5-30 sccm

采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長.

離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝.

適用于離子濺鍍和離子蝕刻, 實現完美的薄膜特性. 在離子刻蝕工藝中, 離子源與離子光學配合, 蝕刻更均勻. 

美國 KRI 射頻離子源 RFICP 100 技術參數:

 

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 100 技術參數:

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型號

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RFICP 100

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Discharge

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RFICP 射頻

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離子束流

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>350 mA

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離子動能

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

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10 cm Φ

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離子束

portant;">

聚焦, 平行, 散射

portant;">

流量

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5-30 sccm

portant;">

通氣

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Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

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典型壓力

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< 0.5m Torr

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長度

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23.5 cm

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直徑

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19.1 cm

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中和器

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LFN 2000

* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量

美國 KRI 射頻離子源 RFICP 100 應用領域:

伯東KRI 考夫曼離子源 RFICP 100 應用領域:

1. 預清洗

2. 表面改性

3. 輔助鍍膜(光學鍍膜) IBAD,

4. 濺鍍和蒸發鍍膜 PC

5. 離子濺射沉積和多層結構 IBSD

6. 離子蝕刻 IBE

 
信息[美國,KRI,射頻離子源,RFICP,100]由伯東貿易(深圳)有限公司在聚推吧發布;請自行辨認真偽;商務牛不保證信息的真實性并不承擔任何責任!
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